MEMS：微机电系统，是 一种将机械结构与电子系统同时集成制造在一颗芯片上的技术，其特征尺寸一般在微米 甚至纳米量级。用MEMS技术制造传感器、执行器或者微结构，具有微型化、集成化、 成本低、效能高、可大批量生产等特点，MEMS 技术的应用对各种传感装置的微型化起到巨大推动作用，目前MEMS产品广泛应用于消费电子、汽车电子、工业、医疗等领域。
MEMS传感器工艺流程包括：研发设计、晶圆制造、封装和测试包装。
MEMS的工艺流程图
- 设计研发：包括芯片设计、工艺流程设计、机电和结构设计、包括封装和测试在内的设计验证
- 晶圆制造：MEMS制造是基于半导体制造技术发展起来的，它融合了离子扩散、薄膜沉积 （PVD/CVD）、光刻、刻蚀（干法刻蚀、湿法腐蚀）等工艺，MEMS更多是三维结构。
- 封装测试：MEMS封装通常分为晶圆级封装、器件级封装和系统级封装三个层次。目前，MEMS封装技术大多来自集成电路封装技术，但MEMS产品应用领域多样，且应用场景复杂，所以 MEMS 封装比集成电路封装结构更复杂、更具挑战性。
MEMS全球市场规模
MEMS产品结构分类：主要分为MEMS传感器和MEMS执行器。MEMS传感器主要是感知和传递信息，比如声学传感器、压力传感器、惯性传感器，MEMS执行器主要是接收信号并执行，比如MEMS射频器件、喷墨打印头。
MEMS产品结构
MEMS下游应用：最大的是消费电子
消费电子领域，2020年MEMS射频器件市场规模占比最大，达到28.69%，比如SAW、BAW滤波器，每个手机都要用；其次是声学传感器，比如麦克风，用在TWS耳机、手机等。
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消费电子MEMS产品结构
汽车电子MEMS产品结构
工艺领域MEMS产品结构
MEMS传感器的优点：体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性强、适于 批量化生产、易于集成和实现智能化等特征。
MEMS传感器相对传统传感器的特征
MEMS声学传感器市场规模
汽车电子MEMS声学传感器出货量
MEMS压力传感器市场规模
MEMS传感器未来发展趋势：MEMS朝智能化、微型化、低功耗化发展；物联网时代来临，MEMS应用场景多元化、碎片化；多传感器融合与协同，比如惯性传感器与信号处理芯片融合；系统级封装是MEMS的重要封装方式。
全球MEMS厂商排名
MEMS 声学传感器领域主要企业：
- Knowles Corporation（楼氏），成立于 1946 年，总部位于美国，是一家全球领先的先进微声、音频处理和精 密设备解决方案供应商，服务于消费电子、通信、医疗技术、电动汽车和工业等领域。2021年度，楼氏营业收入为8.68亿美元，净利润为 1.50 亿美元。
- 瑞声科技，成立于1993年，在香港联交所上市（http://2018.HK），是一家智能设备解决方案提供商，主要产品包括声学产品、电磁传动及精密结构件、MEMS 器件、光学产品等， 应用于智能手机、平板电脑、可穿戴式装置及超薄笔记本电脑等智能装置。2021 年度， 瑞声科技营业收入为 176.67 亿元（其中 MEMS 器件收入 10.13 亿元），净利润为 12.93 亿元。
- 苏州敏芯微电子，成立于2007 年，在科创板上市（688286.SH），是一家多品类MEMS芯片设计和制造企业，主要产品包括 MEMS声学传感器、MEMS压力传感 器和 MEMS 惯性传感器。2021年度，敏芯股份营业收入为 3.52 亿元，净利润为 0.13 亿元。
- 钰太科技，成立于2005年，是中国台湾上柜公司（6679.TWO），主要为高附加价值 的 MEMS 异质整合集成电路进行设计研发，核心产品为 MEMS 声学传感器。2021 年度， 钰太科技营业收入为 27.35 亿新台币，净利润为 6.25 亿新台币。
2020年MEMS声学传感器市场份额
MEMS传感器领域全球巨头：
- Robert Bosch GmbH（博世），成立于 1886 年，总部位于德国，是一家从事汽车与智能交通技术、工业技术、 消费品和能源及建筑技术的企业，在 MEMS 传感器领域占有全球重要地位。2021年度博世营业收入为 788亿欧元，经营活动息税前利润为32亿欧元。
- STMicroelectronics N.V.（意法半导体），1987年由意大利 SGS Microelettronica 和法国Thomson半导体公司合并而成，总部位于瑞士，是全球领先的半导体企业之一，主要产品包括微控制器、安全微 控制器、功率晶体管、MEMS 和传感器、存储器、逻辑 IC 和音频 IC 等，服务于汽车产 品、电脑周边设备、通讯系统、消费产品和工业自动化控制系统等领域。2021 年度，意 法半导体营业收入为127.61亿美元，净利润为20.06亿美元。
- 丹麦声扬（Sonion）集团：成立于1974年，是一家微声学解决方案提供商，主要面向消费类、专业 音频、可穿戴设备和通信市场，提供平衡电枢驱动器、MEMS 传感器和无线线圈等产品。
- 烟台睿创微纳：成立于2009年，在科创板上市（688002.SH），是一家专业从事非制冷红外热成像与MEMS 传感技术开发的半导体集成电路芯片企业，致力于 专用集成电路、MEMS传感器及红外成像产品的设计与制造。2021年度，睿创微纳营业收入为 17.80 亿元，净利润为 4.59 亿元。
- 四方光电：成立于2003年，在科创板上市（688665.SH），是一家专业从事气体传感器、气体分析仪器研发、生产和销售的企业，产品广泛应用于家电、汽车、医疗、环保、工业、能源计量等领域。2021 年度，四方光电营业收入为 5.47 亿元， 净利润为1.81亿元。
MEMS压力传感器市场份额
全球SIP厂商市场份额
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